FTO导电玻璃

　　FTO导电玻璃是导电玻一种掺氟的SnO2透明质料，被普遍用于光伏太阳能电池基材、璃激电致色玻璃、光刻液晶展现、蚀F势行光催化等规模，化学也罕用于柔性薄膜PET基材上的刻蚀导电质料。在光伏规模，有优业资如钙钛矿电池名目中，导电玻FTO用于PI层的璃激导电基材，为了使正负较不爆发打仗，光刻因此需要将FTO导电玻璃接管激光刻蚀或者化学刻蚀成一条条形态，蚀F势行与金属电较组成井字形。化学罕有的刻蚀FTO激光刻蚀图形主要有刻线或者刻面（如2.5*2.5cm的FTO导电玻璃，刻蚀掉双方2/3的有优业资FTO，保存中间1/3的导电玻FTO）。

　　罕有的FTO导电玻璃或者薄膜刻蚀措施主要有激光刻蚀以及化学刻蚀。

　　激光刻蚀FTO的道理

　　激光刻蚀FTO的道理是运用高能量的激光光束映射FTO概况，操作激光焦点在一个小地域内，在瞬间（个别这个光阴在多少个纳秒光阴内）的高能量激光熏染下，汽化FTO，留下一条汽化后的线槽，在保障线槽的清洁、无毛刺、无残留的条件早提下，不伤及基材玻璃或者PET薄膜，同时能保障线槽双方刻断，无导通性。

　　而刻面是在刻线的根基条件下，将要刻蚀的面填充为有数条线，经由激光刻蚀扫描线条后，组成一全部面的刻蚀，并可能保障不伤及玻璃，同时还能保障玻璃的透光率，无残留。

　　个别情景下，武汉元禄光电导电玻璃激光刻蚀机的很小线宽可能小于10微米，凭证FTO方阻概况说厚度抉择线宽，也跟所运用的激光的波长、脉冲宽度、脉冲频率、单脉冲能量、刻蚀速率有很大的关连。艰深条件下艰深的激光刻蚀机刻蚀FTO质料的线宽小于20微米，而要做到10微米如下的线宽概况线间距小于10微米，则需要运用超短脉冲激光刻蚀机，如532nm绿光皮秒激光刻蚀机或者飞秒激光刻蚀机等。

　　而刻面如大面积去除了FTO镀层（20*2000妹妹规模），可选用激光清边机去除了P4层质料同样处置，保障加工下场及加工破费需要的加工功能需要。

　　化学刻蚀FTO的道理是运用化学试剂，侵蚀基材上的FTO或者其余导电质料，以钙钛矿电池为例，个别接管盐酸等质料妨碍蚀刻。

　　化学蚀刻VS激光刻蚀

　　化学蚀刻FTO与激光刻蚀FTO比照，前者老本愈加高尚，在大批量破费加工历程中功能更高，前期投入老本更低。但缺陷也清晰，保真性差，有耗材，对于情景会组成确定的传染，可控性差，在同阶段的刻蚀规模比力，化学刻蚀比照力于激光刻蚀的精度更低，良品率低，会组成玻璃刻蚀线槽后发生FTO残留，影响导电性。

　　比照力而言，激光刻蚀措施想做成甚么样都可能，不受图形限度，划一级别条件下，可能做到愈加精确，线宽更窄，线间距更小，操作啰嗦，随时都可能导入图形或者直接绘制图形加工，不受限度，特意适宜于试验室阶段或者前期破费阶段。而前期大批量破费，从晃动性、良品率、耗材、环保、综分解本等多种因素思考，激光刻蚀的优势也愈加清晰，这也是为甚么在触摸屏、光伏、电致色玻璃等规模已经大规模接管激光刻蚀机而坚持运用化学刻蚀的主要原因。